分分鐘讓你了解如何安裝真空燒結爐

　　真空燒結爐是半導體專(zhuān)用設備系列中的一種新型工藝設備，設計新穎，操作方便，結構緊湊。它可以在一臺設備上完成多個(gè)工藝流程。安裝現場(chǎng)應符合真空衛生要求，周?chē)諝馇鍧嵏稍?，通風(fēng)良好，工地不易揚塵等。   安裝真空燒結爐的場(chǎng)所應符合真空衛生的要求，周?chē)目諝鈶鍧嵑透稍?，并有良好的通風(fēng)條件，工作場(chǎng)地不易揚起灰塵等。

　　1、檢查控制柜中所有部件及配件是否完備、完好。

　　2、控制柜安裝在相應的地基上，并固定。

　　3、安照接線(xiàn)圖，并參考電氣原理圖，接通外接主回路及控制回路，并可靠接地，保證接線(xiàn)無(wú)誤。

　　4、檢查電器可動(dòng)部分應活動(dòng)自如，無(wú)卡死現象。

　　5、絕緣電阻應不低于2兆歐姆。

　　6、真空電爐各閥門(mén)必須在關(guān)閉位置。

　　7、控制電源開(kāi)關(guān)放在關(guān)位。

　　8、手動(dòng)調壓旋鈕逆時(shí)針旋動(dòng)頭。

　　9、報警鈕放在開(kāi)位。

　　10、按平面圖完成設備的循環(huán)冷卻水聯(lián)接，建議在設備總進(jìn)出水管處再接入一備用水(可用自來(lái)水)，防止循環(huán)水有故障或斷電導致密封圈燒壞。

　　11、安裝完畢后，抽低真空，等水路接通后可試燒一爐，加熱手動(dòng)/自動(dòng)升溫，溫度不低于1600℃，加熱時(shí)間不少于4小時(shí)，預燒結束后在降溫階段可對擴散泵加熱，擴散泵加熱時(shí)間不能小于45分鐘，然后關(guān)閉上部的小蝶閥，啟動(dòng)大擋板閥(或大蝶閥)，觀(guān)察真空計的數值變化，此時(shí)真空度應很快小于0.1Pa。