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真空燒結爐可以用于活性金屬和難溶金屬以及硬質(zhì)合金，磁性材料和不銹鋼等不同情況下使用。在實(shí)踐中，真空燒結機是在壓力下進(jìn)行（壓力降低）的燒成。在較高的真空條件下，在較靠近于中性的環(huán)境下，其與物質(zhì)之間的化學(xué)反應越少，是半導體專(zhuān)用設備系列中一種新穎的工藝裝備。我們下面來(lái)介紹下，不同情況下真空燒結爐的不同測量方法：
1、極限壓力的測量
在空爐冷態(tài)情況下，用真空爐本身配套的真空系統進(jìn)行試驗。按正常工作條件啟動(dòng)真空泵,直到爐內壓力達到的低值即為爐子的極限壓力。
2、抽氣時(shí)間的測量
在空爐冷態(tài)情況下，用真空爐本身配套的真空系統對爐子進(jìn)行抽空,從爐內壓力為大氣壓開(kāi)始到爐內真空度達到產(chǎn)品標準中規定的極限壓力為止的時(shí)間即為真空爐抽氣時(shí)間。油擴散泵和油增壓泵的預熱時(shí)間不包括在內。
3、最高溫度的測量
在空爐冷態(tài)情況下，用真空爐本身配套的真空系統對爐子進(jìn)行抽空，當爐子真空度達到5Pa時(shí)開(kāi)始加熱，溫度達到設計的最高溫度時(shí)，保溫10min，此溫度即為爐子的最高溫度。
4、工作溫度的測量
在空爐冷態(tài)情況下，用真空爐本身配套的真空系統對爐子進(jìn)行抽空，當爐子真空度達到5Pa時(shí)開(kāi)始加熱，溫度達到設定的工作溫度時(shí)，至少保溫2h,此溫度即為爐子的工作溫度。
5、爐溫均勻性的測量
試驗規定如下:將測量爐溫均勻性的試驗框架(-般為長(cháng)方體)放進(jìn)真空爐，取長(cháng)方體的八個(gè)相交點(diǎn)和長(cháng)方體中心點(diǎn)共九點(diǎn)并與從爐體外引進(jìn)的九個(gè)熱電偶相接，然后關(guān)上爐門(mén)抽空。當爐子真空度達到5Pa時(shí)開(kāi)始加熱，爐子溫度達到800"C(最高溫度為1100C以下的真空爐，不含1100C)或1100C(最高溫度為1100C~2400C的真空爐)時(shí)，保溫2h,然后用同一一個(gè)電位差計測量每個(gè)點(diǎn)的溫度，再算出各點(diǎn)的溫差即為爐子的爐溫均勻性。
6、真空爐控溫精度的測量(不含單點(diǎn)控溫)
在空爐冷態(tài)情況下，用真空爐本身配套的真空系統對爐子進(jìn)行抽空,當爐子真空度達到5Pa時(shí)開(kāi)始加熱，溫度達到設定的溫度時(shí)，保溫30min,此時(shí)經(jīng)過(guò)校驗的主控和輔控溫度表之間的差值即為真空爐的控溫精度。
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